ELIAS

ELIAS 제품특징

LTB ELIAS 200만에서 1천만 이상의 λ/Δλ 분해능으로, 정밀 레이저 라인 프로파일 분석에 탁월합니다.

• 가장 높은 해상도 (2.5M–10M)
• 최대 4단 통과(pass) 설정 가능
• 안정적인 광학 및 기계 구조
• 모터 구동 옵토메커닉스 내장
• 넓은 다이내믹 레인지 (강도 변화 감지 가능)

ELIAS 어플리케이션

• 엑시머 레이저 리소그래피
• 레이저 라인 안정성 측정
• 절대 파장 결정
• 반도체 노광 장비(DUV) 개발 및 검사
• LIBS

▶ λsimul [pm] (Wavelength Accuracy)

Wavelength [nm]	ELIAS I (single)	ELIAS VUV (double)	ELIAS II (double)	ELIAS III (quadruple)	ELIAS-LD (single)	WAVEMETER (double)
157	45	14	–	–	152	49
193	48	15	16.4	8.4	170	52
248	64	20	22.5	11.5	227	71
266	73	25	29.7	15	275	92
532	146	49	59.4	29.9	551	185
766	244	82	92.5	47.5	846	293
1,064	292	98	200	101	–	626

▶ FWHM [pm]

Wavelength [nm]	ELIAS I (single)	ELIAS VUV (double)	ELIAS II (double)	ELIAS III (quadruple)	ELIAS-LD (single)	WAVEMETER (double)
157	0.254	0.083	–	–	0.31	0.10
193	0.283	0.086	0.060	0.030	0.34	0.11
248	0.376	0.117	0.082	0.041	0.46	0.15
266	0.428	0.147	0.112	0.056	0.55	0.19
532	0.856	0.294	0.225	0.112	1.10	0.37
766	1.400	0.482	0.339	0.170	1.70	0.59
1,064	1.711	0.588	0.450	0.225	–	1.25

ELIAS I SPECTRA

ELIAS I laser spectrum @ 193 nm single pass

ELIAS I laser spectrum @ 193 nm double pass

ELIAS I Hg spectrum @ 253 nm double pass

ELIAS I Hg spectrum @ 253 nm single pass

ELIAS II SPECTRA

ELIAS II laser spectrum @ 193 nm double pass

ELIAS II Hg spectrum @ 253 nm double pass

ELIAS III SPECTRA

ELIAS III laser spectrum @ 193 nm single pass

ELIAS III laser spectrum @ 193 nm double pass

ELIAS III Hg spectrum @ 253 nm