LIBS LTB
OEM-LIBS
산업 공정 통합형 모듈 제작
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제품 설명
CORALIS 제품특징
LTB CORALIS는 단일 샘플의 동일 지점에서 원소 정보(LIBS)와 분자 구조(Raman)를 동시 획득할 수 있는 하이엔드 광학 플랫폼입니다. 현미경 기반의 정밀 광학계가 통합되어 있으며, 두 개의 독립적인 레이저 소스를 하나의 광학 경로로 일치시키는 고난도 동축 설계가 핵심입니다. 미세 이물질의 원소 성분과 화학 결합 상태를 한 번에 규명할 수 있습니다.
- 동축 광학 시스템 (Co-axial): LIBS와 Raman 레이저의 광축을 정확히 일치시키는 정밀 빔 컴바이너 탑재
- 현미경 대물렌즈 통합: 고배율 대물렌즈를 통해 마이크로 단위의 미세 지점 타겟팅 및 집광 효율 극대화
- 듀얼 레이저 입력 포트: 532nm(Raman) 및 1064nm(LIBS) 등 서로 다른 파장의 외부 레이저 인터페이스 지원
- 전동식 다이크로익 필터 휠: 측정 모드에 따라 광학 필터를 자동으로 전환하는 전동 휠 시스템
- 고해상도 에쉘 분광 엔진: 광대역 동시 측정이 가능한 ARYELLE 분광기를 검출기로 사용
CORALIS 어플리케이션
- 반도체 패키징 불량 분석
- 미세 이물질 식별
- 박막 레이어 성분 분석
▶ 제품 사양 (Hardware & Software)
| 구분 | 항목 | 세부 사양 |
|---|---|---|
| Measuring technique | LIBS | Qualitative and quantitative multi-elemental analysis |
| RAMAN spectroscopy | Analysis of molecule structures by the detection and interpretation of scattered light | |
| Imaging | Particle counting, size distribution, etc. | |
| LIBS | Laser | 1064nm (up to 50 mJ pulse energy) |
| Wavelength range | 190 nm – 520 nm | |
| Resolution | 13 pm – 35 pm | |
| RAMAN | Laser | 532 nm and 785 nm (up to 50 mW) |
| Wavelength range | 530 nm – 950 nm (up to 6000 cm⁻¹) | |
| Resolution | 532nm: 2.5 – 2.0 cm⁻¹ / 785nm: 1.7 – 1.4 cm⁻¹ | |
| XYZ-stage | Travel range | X = 50 mm, Y = 50 mm, Z = 35 mm |
| Resolution | 1 µm | |
| Repeatability | 1 µm | |
| Sample Imaging | Camera | CMOS camera-based (6 Mpixel) |
| Overview image | Image field (28 x 19) mm | |
| Detail image | Image field (3.5 x 2.5) mm | |
| General | Dimensions | 1200 mm x 750 mm x 750 mm |
| Weight | 225 kg | |
| Safety | Laser class 1 | |
| Software | Fusion RL | Single/average spectra recording, Sample mapping, Depth scans, Particle identification |
| Analysis | Univariate/Multivariate analysis, Material identification, Database, Wiley KnowItAll® compatibility | |
| Accessories | Standard samples | Certified standard samples for size calibration and LIBS/Raman reference |
제품 사양
제품 설명
CORALIS 제품특징
LTB CORALIS는 단일 샘플의 동일 지점에서 원소 정보(LIBS)와 분자 구조(Raman)를 동시 획득할 수 있는 하이엔드 광학 플랫폼입니다. 현미경 기반의 정밀 광학계가 통합되어 있으며, 두 개의 독립적인 레이저 소스를 하나의 광학 경로로 일치시키는 고난도 동축 설계가 핵심입니다. 미세 이물질의 원소 성분과 화학 결합 상태를 한 번에 규명할 수 있습니다.
- 동축 광학 시스템 (Co-axial): LIBS와 Raman 레이저의 광축을 정확히 일치시키는 정밀 빔 컴바이너 탑재
- 현미경 대물렌즈 통합: 고배율 대물렌즈를 통해 마이크로 단위의 미세 지점 타겟팅 및 집광 효율 극대화
- 듀얼 레이저 입력 포트: 532nm(Raman) 및 1064nm(LIBS) 등 서로 다른 파장의 외부 레이저 인터페이스 지원
- 전동식 다이크로익 필터 휠: 측정 모드에 따라 광학 필터를 자동으로 전환하는 전동 휠 시스템
- 고해상도 에쉘 분광 엔진: 광대역 동시 측정이 가능한 ARYELLE 분광기를 검출기로 사용
CORALIS 어플리케이션
- 반도체 패키징 불량 분석
- 미세 이물질 식별
- 박막 레이어 성분 분석
▶ 제품 사양 (Hardware & Software)
| 구분 | 항목 | 세부 사양 |
|---|---|---|
| Measuring technique | LIBS | Qualitative and quantitative multi-elemental analysis |
| RAMAN spectroscopy | Analysis of molecule structures by the detection and interpretation of scattered light | |
| Imaging | Particle counting, size distribution, etc. | |
| LIBS | Laser | 1064nm (up to 50 mJ pulse energy) |
| Wavelength range | 190 nm – 520 nm | |
| Resolution | 13 pm – 35 pm | |
| RAMAN | Laser | 532 nm and 785 nm (up to 50 mW) |
| Wavelength range | 530 nm – 950 nm (up to 6000 cm⁻¹) | |
| Resolution | 532nm: 2.5 – 2.0 cm⁻¹ / 785nm: 1.7 – 1.4 cm⁻¹ | |
| XYZ-stage | Travel range | X = 50 mm, Y = 50 mm, Z = 35 mm |
| Resolution | 1 µm | |
| Repeatability | 1 µm | |
| Sample Imaging | Camera | CMOS camera-based (6 Mpixel) |
| Overview image | Image field (28 x 19) mm | |
| Detail image | Image field (3.5 x 2.5) mm | |
| General | Dimensions | 1200 mm x 750 mm x 750 mm |
| Weight | 225 kg | |
| Safety | Laser class 1 | |
| Software | Fusion RL | Single/average spectra recording, Sample mapping, Depth scans, Particle identification |
| Analysis | Univariate/Multivariate analysis, Material identification, Database, Wiley KnowItAll® compatibility | |
| Accessories | Standard samples | Certified standard samples for size calibration and LIBS/Raman reference |
